A principal diferença entre PVD e CVD é que o material de revestimento em PVD está na forma sólida enquanto que no CVD está na forma gasosa.
PVD e CVD são técnicas de revestimento, que podemos usar para depositar filmes finos em vários substratos. O revestimento de substratos é importante em muitas ocasiões. O revestimento pode melhorar a funcionalidade do substrato; introduzir novas funcionalidades no substrato, protegê-lo de forças externas prejudiciais, etc., portanto, essas são técnicas importantes. Embora ambos os processos compartilhem metodologias semelhantes, existem poucas diferenças entre PVD e CVD; portanto, eles são úteis em diferentes instâncias.